Depunerea unei pelicule subtiri de metal pe un substrat izolant, efectuata intr-o incinta cu vid mai mult sau mai putin inaintat. Se poate realiza prin evaporare in vid sau prin pulverizare catodica. Stratul metalic poate fi transformat in strat izolant de oxid sau nitrura prin introducere de oxigen, respectiv de azot in incinta, in timpul depunerii peliculei metalice.