Corodare chimica ce se efectueaza cu un gaz reactiv ionizat prin trecerea printr-o descarcare electrica. Fata de corodarea cu acid prezinta avantajul ca nu produce corodare laterala, permitand obtinerea unor laturi efectiv verticale si, deci, a unor conductori mai subtiri, ceea ce este necesar pentru fabricarea circuitelor integrate pe scara foarte larga.